| 龍璽精密-卷繞鍍膜系統(tǒng)-可非標(biāo)定制 |
主要應(yīng)用于柔性線路板、ITO透明導(dǎo)電膜、薄膜電容、汽車貼膜、薄膜太陽(yáng)能電池等方面。
采用磁控濺射鍍膜技術(shù)，可配備直流、中頻或射頻電源，適合鍍制金屬膜、導(dǎo)電膜、化合物膜、介質(zhì)膜等。
主要特點(diǎn)：
磁控靶穩(wěn)定性高，避免濺射過程中的放電、打火現(xiàn)象，大幅提高薄膜成品率；
濺射系統(tǒng)腔室獨(dú)立，避免靶材之間的交叉污染，可獨(dú)立調(diào)節(jié)濺射壓強(qiáng)和氣體流量，方便不同工藝的研發(fā)；
濺射靶磁場(chǎng)優(yōu)化，提升薄膜寬度方向均勻性；
濺射前離子源清洗基材，濺射中離子源輔助沉積，薄膜附著力高；
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