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| 圖 片 |
設(shè)備名稱 |
制造商 |
型號 |
年份 |
詳細(xì)配置 |
狀 態(tài) |
 |
NIKON NSR 1755i7B光刻機 |
NIKON |
NSR 1755i7B |
1991 |
6"設(shè)備完整不缺件,上海凈化車間; |
國內(nèi)
|
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JEOL JBX-8100FS G3電子束光刻機 |
JEOL |
JBX-8100FS G3 |
2024 |
設(shè)備完整不缺件,無塵室關(guān)機狀態(tài),100K |
國內(nèi)
|
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TSK ML200鐳射切割機 |
TSK |
ML200 |
2006 |
設(shè)備完整不缺件,質(zhì)保6個月+30W,質(zhì)保 |
國內(nèi)
|
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NITTO HR8500II撕膜機 |
NITTO |
HR8500II |
- |
設(shè)備完整不缺件; |
國內(nèi)
|
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KLA Surfscan SP2晶圓檢測系統(tǒng) |
KLA |
SP2 |
- |
設(shè)備完整不缺件,有2臺現(xiàn)貨; |
國內(nèi)
|
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DNK MA-4200光刻機 |
DNK |
MA-1200 |
2010 |
設(shè)備完整不缺件; |
國內(nèi)
|
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JEOL JBX-8100FS G2電子束光刻機 |
JEOL |
JBX-8100FS G2 |
2022 |
設(shè)備完整不缺件,設(shè)備很少使用,50KV; |
國內(nèi)
|
 |
KLA SF27缺陷檢測 |
KLA |
SF27 |
- |
設(shè)備完整不缺件; |
國內(nèi)
|
 |
CANON FPA-3000EX6光刻機 |
CANON |
FPA-3000EX6 |
2001 |
8"設(shè)備完整不缺件,可改6"4"; |
國內(nèi)
|
 |
NIKON NSR 2005i10C光刻機 |
NIKON |
NSR-2005i10C |
- |
設(shè)備完整不缺件; |
國內(nèi)
|
 |
KLA candela CS20表面分析儀 |
KLA |
CS20 |
2010 |
設(shè)備完整不缺件; |
國內(nèi)
|
 |
HITACHI SU-8010掃描電鏡 |
HITACHI |
SU-8010 |
2013 |
設(shè)備完整不缺件,含安裝調(diào)試培訓(xùn); |
國內(nèi)
|
 |
PVA TePla IoN 40等離子清洗機 |
PVA TePla |
IoN 40 |
2022 |
德國產(chǎn)設(shè)備完整不缺件; |
國內(nèi)
|
 |
DELTA 5001離線分揀機 |
DELTA |
5001 |
2018 |
設(shè)備完整不缺件,有2臺現(xiàn)貨,無硬盤; |
國內(nèi)
|
 |
TOHO FLX-2320-S應(yīng)力測試儀 |
TOHO |
FLX-2320-S |
2007 |
設(shè)備完整不缺件; |
國內(nèi)
|
 |
EVATEC RAD BPM3 PVD薄膜沉積設(shè)備 |
EVATEC |
RAD BPM3 |
2019 |
設(shè)備完整不缺件; |
國內(nèi)
|
 |
ULVAC Zi-1000N薄膜測量系統(tǒng) |
ULVAC |
Zi-1000N |
2001 |
少冷凍機,其他都完整; |
國內(nèi)
|
 |
KLA Leica INS3300晶圓缺陷檢測 |
KLA |
Leica INS3300 |
2015 |
設(shè)備完整不缺件; |
國內(nèi)
|
 |
TEL TE8500蝕刻機 |
TEL |
TE-8500 |
1995 |
設(shè)備完整不缺件,單腔,可以刻蝕SiO2和 |
國內(nèi)
|
 |
ASM AD838L-G2全自動固晶機 |
ASM |
AD838L-G2 |
2015 |
設(shè)備完整不缺件; |
國內(nèi)
|
 |
DISCO DFG8560研磨機 |
DISCO |
DFG8560 |
2004 |
12"設(shè)備完整不缺件,在線熱機; |
國內(nèi)
|
|
KLA Candela 8420表面缺陷檢測系統(tǒng) |
KLA |
Candela 8420 |
2020 |
2-8"設(shè)備完整不缺件,20年入廠,設(shè)備 |
國內(nèi)
|
|
DISCO DAD3350晶圓切割機 |
DISCO |
DAD3350 |
2014 |
設(shè)備完整不缺件; |
國內(nèi)
|
 |
DISCO DAG810研磨機 |
DISCO |
DAG810 |
2015 |
在線熱機,設(shè)備完整不缺件; |
國內(nèi)
|
|
DISCO DAD3350晶圓切割機 |
DISCO |
DAD3350 |
2010 |
設(shè)備完整不缺件; |
國內(nèi)
|
 |
DISCO DGP8760+DFM2700減薄撕膜一體機 |
DISCO |
DGP8760+DFM2700 |
2009 |
設(shè)備完整不缺件; |
國內(nèi)
|
 |
ULVAC NE-950 ICP干法刻蝕 |
ULVAC |
NE-950 ICP |
2010 |
設(shè)備在臺灣,已接電測試完畢,ψ330mm |
國內(nèi)
|
 |
ULVAC EI-5T蒸發(fā)臺 |
ULVAC |
EI-5T |
2010 |
設(shè)備在臺灣,已接電測試完畢,照片是未整新 |
國內(nèi)
|
|
CANON FPA-5500iZa光刻機 |
CANON |
FPA-5500iZa |
- |
設(shè)備完整不缺件,原廠已拆機; |
國內(nèi)
|
 |
SPEEDFAM 50B單面研磨拋光機 |
SPEEDFAM |
50B |
2014 |
設(shè)備完整不缺件,在臺灣已拆機,原廠確認(rèn)無 |
國內(nèi)
|
 |
EVATEC RAD BPM3 PVD薄膜沉積設(shè)備 |
EVATEC |
RAD BPM3 |
2018 |
8",在線熱機2臺,支持3種target |
國內(nèi)
|
 |
VEECO GMR-PVD薄膜生長設(shè)備 |
VEECO |
GMR-PVD |
- |
8",可裝12個靶,有前處理腔,設(shè)備完整 |
國內(nèi)
|
 |
VEECO IBD/IBE離子束沉積設(shè)備 |
VEECO |
IBD/IBE |
- |
8",可裝6個靶,設(shè)備完整不缺件; |
國內(nèi)
|
 |
STS RIE反應(yīng)離子刻蝕機 |
STS |
RIE |
- |
8"設(shè)備完整不缺件; |
國內(nèi)
|
 |
SPTS MUC-21深硅刻蝕機 |
SPTS |
MUC-21 |
- |
6",Bosch工藝,ESD chuck |
國內(nèi)
|
 |
ASML AT850B光刻機 |
ASML |
AT-850B |
2002 |
12",2024/5臺灣拆機,無缺件,有 |
國內(nèi)
|
 |
DNS LA-820快速退火爐 |
DNS |
LA-820 |
2002 |
設(shè)備完整不缺件,已拆機; |
國內(nèi)
|
 |
KOKUSAI DJ-802V立式擴散爐 |
KOKUSAI |
DJ-802V |
- |
設(shè)備完整不缺件; |
國內(nèi)
|
 |
DISCO DFG8560研削機 |
DISCO |
DFG8560 |
2005 |
12"在線熱機,設(shè)備完整不缺件; |
國內(nèi)
|
 |
DISCO DFD6362劃片機 |
DISCO |
DFD6362 |
2022.10 |
2022年新機未使用過,1.8KW的主軸 |
國內(nèi)
|
|
DISCO DFD6341劃片機 |
DISCO |
DFD6341 |
2022 |
2022年新機未使用過,設(shè)備完整不缺件; |
國內(nèi)
|
 |
SHINKAINA SPA-400固晶機 |
SHINKAINA |
SPA-400 |
2019 |
設(shè)備完整不缺件,有4臺現(xiàn)貨在國內(nèi); |
國內(nèi)
|
 |
GENTECH GAS SAFE GT3雙鋼氣柜 |
GENTECH |
GAS SAFE GT3 |
- |
設(shè)備完整不缺件,有19臺現(xiàn)貨; |
國內(nèi)
|
|
ABM/6/350/DCCD光刻機 |
ABM |
ABM/6/350/DCCD |
- |
2"-6" |
國內(nèi)
|
 |
ANELVA I-1060 SVII PVD濺射臺 |
ANELVA |
I-1060 SVII |
1995.08 |
6"設(shè)備完整不缺件; |
國內(nèi)
|
 |
ANELVA ILC-1051 PVD濺射臺 |
ANELVA |
ILC-1051 |
2001 |
6"設(shè)備完整不缺件150mm; |
國內(nèi)
|
|
ANELVA ILC-1051 PVD濺射臺 |
ANELVA |
ILC-1051 |
1990.9 |
6" |
國內(nèi)
|
|
ANELVA ILC-1051 PVD濺射臺 |
ANELVA |
ILC-1051 |
- |
6" |
國內(nèi)
|
|
ANELVA ILC-1051 PVD濺射臺 |
ANELVA |
ILC-1051 |
- |
6" |
國內(nèi)
|
 |
CANON MPA-600FA投影式光刻機 |
CANON |
MPA-600FA |
2006 |
4"5"6"設(shè)備完整不缺件100-200 |
國內(nèi)
|
|
CANON MAS-801HR低損傷干法去膠機 |
CANON |
MAS-801HR |
- |
6" |
國內(nèi)
|
|
CANON VIR-630外觀檢查儀 |
CANON |
VIR-630 |
1989 |
6" |
國內(nèi)
|
|
DNS SC-W80A SOG涂膠顯影機 |
DNS |
SC-W80A |
1999/2015升 |
6/8"2C+CURE FUNANCE |
國內(nèi)
|
|
DNS SK-200W-AVP涂膠顯影機 |
DNS |
SK-200W-AVP |
1998 |
6/8"2C2D; |
國內(nèi)
|
|
DNS SK-200W-AVP涂膠顯影機 |
DNS |
SK-200W-AVP |
2009.09 |
6/8"2D備件機; |
國內(nèi)
|
|
DNS SKW-629-BV涂膠顯影機 |
DNS |
SKW-629-BV |
- |
5/6"1C1D |
國內(nèi)
|
|
DNS SCW-636-BV涂膠機 |
DNS |
SCW-636-BV |
1990 |
5/6"雙軌/PI膠 |
國內(nèi)
|
|
DNS SPW-813AS單片旋轉(zhuǎn)腐蝕機 |
DNS |
SPW-813AS |
1995.05 |
6"CMP后洗凈; |
國內(nèi)
|
 |
DNS LA-820快速退火爐 |
DNS |
LA-820 |
- |
6" |
國內(nèi)
|
|
DNS SSW-629-B刷片機 |
DNS |
SSW-629-B |
1991 |
6"二流體+超音波 |
國內(nèi)
|
|
DNS STM-603-PLS膜厚儀 |
DNS |
STM-603-PLS |
- |
4/5/6" |
國內(nèi)
|
|
HITACHI S-5200掃描電子顯微鏡 |
HITACHI |
S-5200 |
2002.06 |
設(shè)備完整不缺件,如果要安裝調(diào)試加40W; |
國內(nèi)
|
|
HITACHI S-4500掃描電子顯微鏡 |
HITACHI |
S-4500 |
1996 |
EDX |
國內(nèi)
|
 |
HITACHI S-6100掃描電鏡 |
HITACHI |
S-6100 |
1994 |
6" |
國內(nèi)
|
|
HITACHI LS-6000激光表面檢查裝置 |
HITACHI |
LS-6000 |
1992.2 |
6" |
國內(nèi)
|
|
HITACHI PD-2000光刻版顆粒檢查裝置 |
HITACHI |
PD-2000 |
1988.12 |
6" |
國內(nèi)
|
|
HITACHI IS-2000 Wafer異物檢查裝置 |
HITACHI |
IS-2000 |
1990.8 |
6" |
國內(nèi)
|
|
JEOL JDX-3531 X射線衍射儀XRD |
JEOL |
JDX-3531 |
2002 |
設(shè)備完整不缺件; |
國內(nèi)
|
|
KEYENCE VU-5500數(shù)字顯微鏡 |
KEYENCE基恩士 |
VU-5500 |
- |
4/5/6" |
國內(nèi)
|
|
LAM TE490干法刻蝕機 |
LAM |
TE490 |
- |
6" |
國內(nèi)
|
|
LAM TE490干法刻蝕機 |
LAM |
TE490 |
- |
6" |
國內(nèi)
|
 |
NIKON NSR-1755G7A光刻機 |
NIKON |
NSR-1755G7A |
1996 |
6"24.04下線 |
國內(nèi)
|
|
NIKON NSR-1505i6光刻機 |
NIKON |
NSR-1505i6 |
- |
6" |
國內(nèi)
|
|
NIKON X6PDF-UBD顯微鏡 |
NIKON |
X6PDF-UBD |
- |
4/5/6" |
國內(nèi)
|
|
OLYMPUS BH3-MJL顯微鏡 |
OLYMPUS奧林巴斯 |
BH3-MJL |
2002 |
4/5/6" |
國內(nèi)
|
|
OLYMPUS MX50顯微鏡 |
OLYMPUS奧林巴斯 |
MX50 |
- |
4/5/6/8" |
國內(nèi)
|
|
PHOTAL FE-3000外觀檢查儀 |
PHOTAL |
FE-3000 |
- |
6" |
國內(nèi)
|
|
PVA Tepla 300 AL PC干法去膠機 |
PVA Tepla |
300 AL PC |
2003 |
4/5/6"50片/微波 |
國內(nèi)
|
|
PVA Tepla 300 AL PC干法去膠機 |
PVA Tepla |
300 AL PC |
2003 |
4/5/6"50片/微波 |
國內(nèi)
|
|
PVA Tepla 300 AL PC干法去膠機 |
PVA Tepla |
300 AL PC |
2003 |
4/5/6"50片/微波 |
國內(nèi)
|
|
PVA Tepla 300 AL PC干法去膠機 |
PVA Tepla |
300 AL PC |
2003 |
4/5/6"50片/微波 |
國內(nèi)
|
|
PVA Tepla 300 AL PC干法去膠機 |
PVA Tepla |
300 AL PC |
2003 |
4/5/6"50片/微波 |
國內(nèi)
|
|
Rudolph NMR3短波長自動橢偏儀 |
Rudolph |
NMR3 |
1997.05 |
設(shè)備完整不缺件; |
國內(nèi)
|
 |
KARL SUSS MA200e光刻機 |
KARL SUSS |
MA200e |
2006 |
4"-8"設(shè)備完整不缺件; |
國內(nèi)
|
 |
SOPRA Gonio bench分光橢偏儀 |
SOPRA |
Gonio bench |
2000.02 |
6"設(shè)備完整不缺件,turnkey加1. |
國內(nèi)
|
 |
LAM SEZ FS 103-6單片旋轉(zhuǎn)腐蝕機 |
LAM泛林 |
FS 103-6 |
1996 |
6" |
國內(nèi)
|
 |
LAM SEZ FM101-6-B單片旋轉(zhuǎn)腐蝕機 |
LAM泛林 |
FM101-6-B |
1998 |
4-6" |
國內(nèi)
|
 |
TEL MARK-VZ涂膠顯影機(1C2D) |
TEL |
MARK-VZ |
1997 |
設(shè)備完整不缺件,4/5/6"1C2D,已 |
國內(nèi)
|
|
TEL MARK-V涂膠顯影機 |
TEL |
MARK-V |
1993 |
4/5/6"1C1D |
國內(nèi)
|
|
TEL TE8500P ATC干法刻蝕機 |
TEL |
TE-8500P ATC |
1995.11 |
6"RIE SiO2 Etcher |
國內(nèi)
|
|
TEL TE8500P ATC干法刻蝕機 |
TEL |
TE-8500P ATC |
1995.11 |
6"RIE SiO2 Etcher |
國內(nèi)
|
|
TEL TE8500P干法刻蝕機 |
TEL |
TE-8500P |
- |
6"RIE SiO2 Etcher |
國內(nèi)
|
|
TEL TE8500P ATC干法刻蝕機 |
TEL |
TE-8500P ATC |
1993.03 |
6"RIE SiO2 Etcher |
國內(nèi)
|
|
USHIO UMA-802-HC55MT固膠機 |
USHIO |
UMA-802-HC55MT |
2005 |
6" |
國內(nèi)
|
|
ULVAC 304真空檢漏儀 |
ULVAC |
304 |
2000.04 |
- |
國內(nèi)
|
|
TOK TCA-2600低溫干法去膠機 |
TOK |
TCA-2600 |
1990.11 |
6"設(shè)備完整不缺件; |
國內(nèi)
|
 |
DISCO DAG810研磨機 |
DISCO |
DAG810 |
2003 |
設(shè)備完整不缺件; |
國內(nèi)
|
 |
DISCO DFG8560研削機 |
DISCO |
DFG8560 |
2016 |
12"設(shè)備完整不缺件; |
國內(nèi)
|
|
Aixtron Aix 2600G3 MOCVD化學(xué)氣相沉積設(shè)備 |
Aixtron |
Aix 2600G3 TA/TE/TM |
2001/02/07 |
設(shè)備完整不缺件,3臺現(xiàn)貨在臺灣倉庫(TA |
國內(nèi)
|
 |
Aixtron Aix 2800G4 TM MOCVD設(shè)備 |
Aixtron |
Aix 2800G4 TM |
2017 |
設(shè)備完整不缺件(無HDD),年初下線; |
國內(nèi)
|
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