| 龍璽精密-GASS立式甩干機(jī)-可非標(biāo)定制 |
GASS立式甩干機(jī)是高潔凈度沖洗甩干設(shè)備，具有高潔凈沖洗，高速甩干，快速烘干，效率高的特點(diǎn)，不同晶圓尺寸，可通過(guò)快速更換轉(zhuǎn)子來(lái)實(shí)現(xiàn)。是濕法清洗工藝的主要設(shè)備，設(shè)備本身有單腔室和雙腔室2種結(jié)構(gòu)，體型小運(yùn)行平穩(wěn)。其主要用于2-8英寸半導(dǎo)體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝。
GASS立式甩干機(jī)設(shè)備特點(diǎn)：
可以快速拆卸更換轉(zhuǎn)子；
采用直驅(qū)式高性能無(wú)刷電機(jī)；
設(shè)備正常穩(wěn)定工作時(shí)間>95%，碎片率低于千分之一；
顆粒度增加值<10(0.3 micron)，甩千后表面無(wú)水漬、無(wú)污染物；
整機(jī)采用進(jìn)口PFA/PVDF/PTFE管件/噴嘴；
氣動(dòng)控制部件采用進(jìn)口SMC壓力開(kāi)關(guān)/電磁閥；
電源主空氣開(kāi)關(guān)帶漏電保護(hù)；
當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)異常時(shí),按急停按鈕可停機(jī)；
動(dòng)力條件監(jiān)測(cè)及報(bào)警；
加熱系統(tǒng)超溫保護(hù)；
門(mén)禁/擺正監(jiān)測(cè)報(bào)警；
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